應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路、G8及以上高世代顯示面板和柔性面板。不含氟離子有害物質(zhì)，不含三氯化鐵等強(qiáng)氧化劑。Taper角度45-60°，CDloss(單邊)＜1μm，無(wú)倒切，無(wú)側(cè)刻，無(wú)殘留。蝕刻速度快，側(cè)蝕小，溶液使用壽命長(zhǎng)