應(yīng)用鄰域：用于玻璃減薄制程工藝中殘留于噴淋設(shè)備噴頭中氟化物殘?jiān)娜コ?，工藝要?5℃  噴淋式。清洗后表面乾浮無(wú)殘留，藥液清洗快速無(wú)安全性問(wèn)題。